一、前期安全操作規范（所有維護前必執行）

1. 關閉 TFW-100 主(zhu)機、TF-Lab 軟件，斷開設備電源，等待鹵(lu)素燈充分冷卻 30 分鐘，高溫燈泡觸碰會燙傷、炸裂。

2. 佩戴無塵手(shou)套、防(fang)靜(jing)電手(shou)環，禁止裸手(shou)接(jie)觸鏡(jing)頭、燈(deng)泡、光路鏡(jing)片，指紋油污會損(sun)傷鍍膜。

3. 準備耗(hao)材：無油壓縮氣吹(chui)、光學專(zhuan)用擦鏡紙(zhi)、99.7% 無水乙(yi)醇(chun)、無塵棉(mian)簽、原廠 12V100W 鹵素燈、十字小(xiao)螺絲刀、無塵收納(na)盒。

4. 作業環境：無塵操(cao)作臺，關(guan)閉風機直(zhi)吹，避免灰塵二次落在光(guang)學元(yuan)件表面。

二、物鏡 / 測量鏡頭標準清潔步驟（日常 + 深度清潔）

1. 日常簡易清潔（每日使用前、測量數據波動時）

1. 用氣吹斜 45° 遠距離吹掃鏡(jing)頭表面浮塵(chen)，先吹后擦，避免顆粒劃(hua)傷鍍(du)膜。

2. 折疊雙層擦鏡紙，滴(di) 1 滴(di)無(wu)水(shui)乙醇，僅潤(run)濕紙角，禁止液體(ti)直(zhi)接滴(di)在鏡頭上。

3. 鏡(jing)頭中心向(xiang)外勻速單(dan)向(xiang)螺(luo)旋(xuan)擦拭，單(dan)次一張(zhang)擦鏡(jing)紙(zhi)只使用一次，不(bu)重復擦拭。

4. 換干擦鏡紙輕吸殘留溶(rong)劑，靜(jing)置 1 分鐘自然揮發，確認表面無水漬、印痕再(zai)開機。

2. 深度拆解清潔（每月 1 次、光斑有黑斑 / 油污、長期產線粉塵環境）

1. 斷電冷(leng)卻后(hou)，旋轉取下(xia)前(qian)端測量物鏡，放置(zhi)于無塵紙上。

2. 依次清潔物鏡前端鏡片、后端入(ru)光鏡片、鏡筒內(nei)(nei)壁(bi)浮塵(chen)，棉簽蘸(zhan)少量乙醇擦(ca)拭鏡筒內(nei)(nei)部。

3. 清潔設備內部(bu)分光(guang)(guang)窗口、參考光(guang)(guang)路(lu)反射(she)鏡片，流程同樣(yang)先吹塵再擦拭。

4. 確認所有(you)光學元件(jian)干燥無(wu)殘(can)留，對(dui)準螺紋平穩(wen)裝(zhuang)回物(wu)鏡，手擰至貼合，禁(jin)止工具(ju)大力緊(jin)固。

5. 開(kai)機預熱 15 分鐘，使(shi)用標準硅片校準基線，檢查光斑均勻無(wu)暗斑。

鏡頭清潔禁忌

1. 禁用 75% 酒(jiu)精、丙酮、紙巾、棉簽干擦鏡頭；禁用鑷子(zi)、毛刷硬刮鏡片。

2. 溶劑過量滲入鏡筒(tong)會(hui)腐蝕內部鍍(du)膜、粘(zhan)連(lian)鏡組。

3. 鏡頭表面存在劃痕無(wu)法修(xiu)復(fu)，只能更換原廠物鏡。

三、原廠 12V100W 鹵素光源完整更換操作步驟

更換判定標準

1. 斷電冷(leng)卻 30 分鐘，打(da)開設備后側(ce)光源(yuan)倉(cang)蓋板(ban)固定螺絲，取下蓋板(ban)。

2. 觀察燈(deng)(deng)座結構，松開燈(deng)(deng)泡(pao)兩側接(jie)線端子卡扣(kou)，輕拔電源接(jie)頭。

3. 松開燈架兩顆固定螺絲，取(qu)出老化鹵素燈，輕(qing)拿燈座金屬底(di)座，不觸碰燈泡玻璃管壁。

4. 取出全(quan)新原廠 12V100W 鹵素燈，全(quan)程戴(dai)無塵手套(tao)，禁止觸摸(mo)玻璃泡殼(ke)。

5. 將燈泡對準燈架卡槽平(ping)穩放置，輕(qing)微涂抹(mo)薄層導熱硅(gui)脂于金屬底座，提升散(san)熱。

6. 固定燈架(jia)螺絲，力度輕柔不打滑，插回光源接線端子，確認接觸緊實無(wu)松(song)動。

7. 對齊光路：輕(qing)微微調(diao)燈架左右(you)、高低位置，保證鎢絲對準光路中心。

8. 裝(zhuang)回(hui)光源倉蓋(gai)板，擰緊(jin)固定螺絲(si)，接通電源。

換燈后光路校準（關鍵步驟）

1. 開機整機預熱 20 分鐘，打(da)開 TF-Lab 測量軟件(jian)。

2. 進入校(xiao)準界面(mian)，執行暗電流采集、標準硅片基線(xian)校(xiao)正(zheng)。

3. 觀(guan)察光譜曲線全(quan)波(bo)段強度均勻，無局部(bu)凹陷、毛刺；多點測(ce)試標(biao)準膜厚(hou)片，數(shu)值誤差(cha)回歸設備公差(cha)范圍即更換完成(cheng)。

4. 記錄燈泡(pao)更換(huan)時(shi)(shi)間、累計(ji)點亮時(shi)(shi)長，建立耗(hao)材(cai)更換(huan)臺賬。

四、整機分級保養周期流程

每日保養（開機前 5 分鐘）

1. 氣吹清理物鏡表(biao)面灰塵，目視檢查光(guang)斑(ban)完(wan)整。

2. 擦(ca)拭載物臺玻璃測(ce)量窗口，清(qing)除樣品粉塵、碎屑。

3. 查看光(guang)源(yuan)強度數值，強度低于閾(yu)值提前備燈。

月度深度保養

1. 完(wan)整拆解(jie)清(qing)潔物鏡(jing)、內部分光(guang)鏡(jing)片、光(guang)源出光(guang)窗(chuang)口。

2. 清理設備散(san)熱孔灰(hui)塵，保(bao)證鹵素燈散(san)熱通暢，避(bi)免高(gao)溫加速燈泡老化。

3. 緊固(gu)光源(yuan)倉、光路模塊所(suo)有固(gu)定螺絲，防止震動偏(pian)移光路。

4. 執行(xing)全波段(duan)基線(xian)校準、多(duo)點標(biao)準片(pian)驗證測量精度(du)。

季度整機維護

1. 清(qing)潔內部(bu)光譜探(tan)測(ce)器窗口，氣吹清(qing)理光路腔體(ti)積塵。

2. 檢查(cha)設備電源線、USB 通訊線有無老化(hua)破損。

3. 測試 Z 軸(zhou)升降(jiang)載物臺運(yun)行順(shun)滑度，清理軌道粉塵。

4. 核對(dui)燈泡累計(ji)工作時長，臨近(jin) 2000 小時提前采(cai)購(gou)備用光源。

年度專業檢修

1. 整機(ji)光(guang)路準直檢測，光(guang)軸(zhou)偏移超標聯系原廠(chang)調校。

2. 更換老化散熱風扇、密封圈。

3. 全套光學(xue)元件深度清潔，更新整套基線校(xiao)準參數。

五、常見故障維修處理技巧

1. 光譜曲線噪聲大、毛刺多

   故障：鏡頭臟污、光源老化、散熱不良、環境雜光干擾

   維修：完整清潔全部光學鏡片；燈泡使用超 2000 小時直接更換；清理散熱孔，測量時關閉室內強光。
2. 測量數值重復性差、同一點多次測數值浮動大

   故障：物鏡油污、光源位置偏移、載物臺晃動、基線過期

   維修：深度清潔鏡頭；重新拆裝鹵素燈并微調光路；緊固載物臺固定件；重新做暗電流 + 標準硅片校準。
3. 光斑出現黑斑、局部無光區

   故障：鏡頭鍍膜污染、燈泡管壁積碳、光路窗口臟污

   維修：拆解清潔物鏡；鹵素燈老化積碳直接更換；清潔內部分光鏡片。
4. 光源報錯、開機亮度極低

   故障：燈泡燒毀、接線端子松動、燈座氧化

   維修：斷電更換原廠鹵素燈；打磨端子氧化層，重新緊固接線。
5. 鏡頭拆裝后數據整體偏移

   故障：物鏡未擰緊、光路偏移、未重新校準

   維修：重新平穩鎖緊物鏡；軟件完整執行全套基線校準。

六、長期存放防護規范

1. 每日(ri)停機后用氣吹清潔鏡頭，蓋上原(yuan)廠(chang)鏡頭防塵蓋。

2. 長期停機超過(guo) 7 天，斷開電(dian)源，取出(chu)光源燈泡單獨防潮(chao)存放(fang)。

3. 整(zheng)機(ji)放置 40%–60% 濕度無(wu)塵環境(jing)，套設備(bei)防(fang)塵罩，內部放置干燥劑。

4. 再次啟用前完整(zheng)清潔(jie)光路、更換干(gan)燥劑(ji)，預熱校準后(hou)再生產測量。