一、操作前置說明

二、作業前期準備

1. 環境與放置檢查

   將泵體放置在(zai)水(shui)平、干燥通風臺面，機身四(si)周預(yu)留 20cm 以上(shang)散熱空(kong)間(jian)，避開酸堿揮發、粉塵(chen)堆積區域；無塵(chen)車間(jian)內需放置在(zai)防靜(jing)電(dian)工作(zuo)臺，地面鋪設導(dao)電(dian)地墊。

2. 工具與配套物料準備

   絕(jue)緣(yuan)剝線鉗、十(shi)字(zi)絕(jue)緣(yuan)螺絲刀、絕(jue)緣(yuan)膠(jiao)帶、萬用表(biao)、3×5mm 真空軟管(guan)、L 型標準接(jie)頭、穩壓 AC100V 電源、防靜電接(jie)地線；無(wu)塵場景配(pei)套潔(jie)凈(jing)無(wu)塵布擦拭管(guan)路與泵體接(jie)口。

3. 基礎外觀預檢

   目視檢查機身外殼無(wu)開裂、進出氣 HEPA 濾芯(xin)無(wu)破損、透明(ming)觀察窗無(wu)裂痕、出線電源線外皮無(wu)磨損裸露；管路接頭密封(feng)圈完整無(wu)硬化開裂。

4. 電氣安全前置要求

   操作(zuo)(zuo)前斷(duan)開(kai)穩壓電源總(zong)開(kai)關(guan)，執行掛(gua)牌上鎖(suo)流程(cheng)，全(quan)程(cheng)斷(duan)電開(kai)展(zhan)接線(xian)作(zuo)(zuo)業，杜絕帶電操作(zuo)(zuo)觸電風險。

三、斷電狀態標準接線步驟

3.1 電源回路接線

1. 使用剝(bo)線(xian)鉗輕剝(bo)穩壓電源輸出(chu)端(duan)線(xian)纜絕緣皮，露出(chu)銅芯長(chang)度控制在 5mm，不出(chu)現銅絲(si)散絲(si)分叉。

2. FV-30 出線共(gong)兩根動(dong)力(li)線，無正負(fu)極區分，分別(bie)接入穩壓電(dian)源 AC100V 輸出端子，螺絲(si)刀均勻擰緊(jin)端子螺絲(si)，線纜無松動(dong)、擠壓破損。

3. 線(xian)纜彎(wan)折處(chu)預留松弛余量(liang)，避免設備(bei)振動(dong)拉(la)扯接(jie)線(xian)端子，接(jie)線(xian)點位包裹絕緣膠帶隔離裸露金屬部位。

3.2 防靜電接地接線

1. 找(zhao)到機身底部金屬接地螺(luo)(luo)釘，取下(xia)螺(luo)(luo)釘，將防靜電接地線銅環墊片套入螺(luo)(luo)釘復位鎖緊。

2. 接(jie)地(di)(di)線另一端連接(jie)工作臺接(jie)地(di)(di)匯流排，使用萬用表(biao)測量接(jie)地(di)(di)通路(lu)，保證導通穩定，降低氣流摩擦產生靜電擊(ji)穿元器件的概率。

3.3 真空管路接線

1. 進氣(qi)口安裝配套 L 型接(jie)頭，插接(jie) 3×5mm 真(zhen)空(kong)軟(ruan)管，軟(ruan)管另一端對接(jie)真(zhen)空(kong)吸筆、吸附工裝；排氣(qi)口保留(liu)通暢(chang)，不封(feng)堵、不加裝節流閥。

2. 軟管兩(liang)端(duan)插(cha)接到(dao)位(wei)，輕拉管路確認無脫落風險，管路盡量(liang)縮短長(chang)度(du)，減(jian)少(shao)氣流壓降造(zao)成負壓衰減(jian)。

3.4 接線完成復檢

1. 復查(cha)電源端子、接地(di)螺釘、管路接頭三處連(lian)接點(dian)位，確認(ren)全(quan)部緊固。

2. 萬用表(biao)調至交流電(dian)壓檔(dang)，空載測量穩(wen)壓電(dian)源輸出端電(dian)壓，數值穩(wen)定在(zai) AC100V 區間(jian)內，無電(dian)壓偏(pian)高、偏(pian)低情況。

四、通電開機前置全面點檢（未合閘送電）

1. 氣路濾芯檢查

   透過機身(shen)透明觀察窗查(cha)看進氣 HEPA 濾芯，濾芯無(wu)大面積(ji)積(ji)灰、無(wu)異物堵塞(sai)；濾芯倉卡扣閉合到位，無(wu)縫(feng)隙(xi)漏氣。

2. 泵腔狀態檢查

   輕晃整機，內部無(wu)(wu)異物碰撞異響，隔膜、閥片無(wu)(wu)卡滯風險(xian)；整機無(wu)(wu)傾斜擺放，底腳(jiao)貼合(he)工作臺面。

3. 管路密封性預檢

   封(feng)堵(du)軟(ruan)管末端(duan)吸(xi)嘴(zui)，人為封(feng)閉整條真空回(hui)路，確認管路無肉眼(yan)可見縫(feng)隙、孔洞。

4. 周邊安全確認

   線纜不擠壓、不纏(chan)繞，無接觸尖(jian)銳金屬邊(bian)角；穩(wen)壓電源(yuan)周邊(bian)無紙張、無塵布等易燃物(wu)料。

五、通電試運行操作流程

1. 解(jie)除掛牌上鎖，閉合穩壓電源(yuan)總(zong)開關(guan)，設備線圈通電啟動(dong)，隔膜開始高頻往(wang)復運行。

2. 啟動(dong)后 30 秒(miao)聽覺、振動(dong)觀(guan)測(ce)

   貼近機(ji)身聆聽(ting)運行聲響(xiang)，正(zheng)常狀(zhuang)態(tai)為均勻輕微振動聲，無(wu)尖銳(rui)摩擦、撞(zhuang)擊異響(xiang)；手部輕觸(chu)機(ji)身，振動幅度平緩，無(wu)異常抖動。

3. 負壓數值檢測

   將負壓(ya)表接在管路中間，空(kong)載運(yun)行(xing) 2 分鐘，觀察負壓(ya)逐步(bu)下(xia)降(jiang)，穩(wen)定后區間接近 - 50kPa；若負壓(ya)數(shu)值偏(pian)高，排查管路接頭密封情況。

4. 氣路通暢測試

   松開軟管(guan)末端封堵，負壓(ya)(ya)數值快(kuai)速回升(sheng)至常壓(ya)(ya)，代表進氣(qi)、排氣(qi)氣(qi)路通暢，單向閥開合無卡滯(zhi)。

5. 異常斷電處置

   運行中(zhong)出現(xian)異響、機(ji)身異常升溫、負壓持續不(bu)足(zu)，立即斷開總電源開關，排查接線、濾芯、管路故(gu)障后再次(ci)試機(ji)。

六、正常投產標準運行規范

1. 試運(yun)行(xing)無(wu)異常后(hou)，連接生產工裝開展元器件吸(xi)附作業，單(dan)次連續運(yun)行(xing)時長不超過 8 小(xiao)時，中途可停機(ji) 10 分鐘(zhong)輔(fu)助散熱(re)。

2. 運行過(guo)程每小時簡易巡檢(jian)一次，巡檢(jian)內容(rong)包含三(san)項(xiang)：機身表面溫度、濾(lv)芯積灰狀態(tai)、管路接頭(tou)是否漏氣(qi)。

3. 無塵(chen)作業時，避免粉塵(chen)、藥液揮發氣體(ti)長時間被(bei)吸入泵體(ti)，減少濾芯、隔膜(mo)損(sun)耗(hao)速度(du)。

4. 禁止長(chang)時間封閉進(jin)氣口持續(xu)抽氣，容易(yi)加劇隔(ge)膜疲勞(lao)形變，縮短部(bu)件使用周(zhou)期。

七、工序結束規范停機流程

1. 先取(qu)下工裝吸嘴(zui)，斷開工件密封(feng)吸附狀態，讓管路連通大氣平衡內部負壓。

2. 保持設備空載運(yun)行 1 分鐘，排出泵腔(qiang)內部殘留粉(fen)塵、微量水汽(qi)。

3. 斷開穩(wen)壓電源(yuan)總開關(guan)，等待隔膜停止往復振動。

4. 若(ruo)當日不再使用(yong)，拔掉電(dian)源輸(shu)出端子，拆(chai)除真空軟管，使用(yong)無塵布封堵(du)泵體進出氣(qi)口，阻(zu)擋車間粉塵進入濾芯倉。

5. 松開接(jie)(jie)地螺釘收(shou)納(na)接(jie)(jie)地線，整理電源(yuan)線、真空軟管，整齊擺放避免彎(wan)折破損(sun)。

八、每日操作收尾與基礎保養

1. 無(wu)塵(chen)布擦拭機身外(wai)殼、管路外(wai)表(biao)(biao)面，清除表(biao)(biao)面浮塵(chen)，維持工位潔凈度(du)。

2. 記錄當日運行時長、負壓穩定狀態、濾(lv)芯積灰程度(du)，便(bian)于(yu)預判濾(lv)芯更換節點。

3. 長期停用(yong)（超(chao)過(guo) 7 天），將設備存放(fang)于干燥(zao)防塵收納區域，管路、泵口全(quan)程封(feng)堵。

九、安全操作約束要點

1. 全程僅適配 AC100V 穩壓(ya)電源，禁止搭配升壓(ya)、簡易調(diao)壓(ya)裝置，電壓(ya)波動幅度(du)過大會損傷(shang)電磁線(xian)圈。

2. 接線、拆(chai)機維護必須斷電操作，帶電插拔線纜會造成端子打(da)火，損(sun)壞電路(lu)組件。

3. 排(pai)氣口不可對準(zhun)晶圓、光學鏡片等(deng)工(gong)件，排(pai)氣氣流攜(xie)帶微量隔膜磨損微粒(li)，可能造成產(chan)品(pin)表面瑕疵。

4. 出(chu)現機身(shen)發燙、異響、負壓持(chi)續衰減等情況，立刻停機斷電，不持(chi)續帶故障運行。