# 2025年新品(pin)發(fa)布會(hui)#

日期：2025年7月19日

時間：8：30-18：30

近期我司新推出升級了Lintec 琳得科高(gao)性能數字質量流(liu)量控制器 MC-3582L

Lintec 的(de)環(huan)境溫(wen)度(du)(du)補償傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)即(ji)使在(zai)低溫(wen)下也(ye)能(neng)實現(xian)高(gao)精(jing)度(du)(du)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)測量(liang)(liang)(liang)(liang)。 它抑制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)了(le)由于(yu)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)受(shou)熱而隨時間推(tui)移而引起的(de)劣化(hua)，即(ji)使在(zai)臭(chou)氧等高(gao)度(du)(du)可(ke)(ke)(ke)降(jiang)解的(de)氣體(ti)(ti)下也(ye)能(neng)實現(xian)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)。 作為選(xuan)件，高(gao)性(xing)能(neng)、全能(neng)數字質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)，可(ke)(ke)(ke)用(yong)于(yu)液(ye)化(hua)氣、微(wei)(wei)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang) F.S.、寬范圍、表面(mian)到面(mian)對面(mian)和接頭規格(ge)。 高(gao)性(xing)能(neng)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi) 長(chang)處 精(jing)度(du)(du)±1%S.P. 工(gong)作溫(wen)度(du)(du)：5~50°C 金(jin)屬密封件 清潔（保證顆粒） 環(huan)境溫(wen)度(du)(du)補償傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi) RS-485 通(tong)信(xin) 選(xuan)擇(ze) 微(wei)(wei)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang) F.S. 與(yu)液(ye)化(hua)氣兼容 寬 使用(yong)示例 半導(dao)體(ti)(ti)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)造前(qian)端工(gong)藝 由于(yu) CVD（化(hua)學氣相沉積(ji)）ALD 沉積(ji)設(she)備(bei)(bei)和蝕(shi)(shi)刻設(she)備(bei)(bei)中(zhong)使用(yong)了(le)高(gao)反應性(xing)氣體(ti)(ti)，因(yin)此必須采用(yong)具(ju)有(you)高(gao)耐腐蝕(shi)(shi)性(xing)的(de)金(jin)屬密封的(de)氣體(ti)(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)。 此外，在(zai)常溫(wen)常壓下，前(qian)驅(qu)體(ti)(ti)中(zhong)含(han)有(you)大量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)液(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)，因(yin)此具(ju)有(you)耐熱溫(wen)度(du)(du)和難以再液(ye)化(hua)的(de)閥門結構很重要。 MC-3000L 高(gao)精(jing)度(du)(du)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)選(xuan)擇(ze)支(zhi)持液(ye)化(hua)氣體(ti)(ti)，最高(gao)工(gong)作溫(wen)度(du)(du)為 50°C（可(ke)(ke)(ke)選(xuan) 55°C）。 分(fen)析(xi)器(qi)(qi) 可(ke)(ke)(ke)能(neng)需(xu)要分(fen)析(xi)儀來控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)微(wei)(wei)小(xiao)(xiao)流(liu)(liu)(liu)(liu)速，但一(yi)般質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)的(de)最小(xiao)(xiao) F.S. 為 5 SCCM，這(zhe)無法控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)微(wei)(wei)小(xiao)(xiao)流(liu)(liu)(liu)(liu)速。 MC-3000L 高(gao)精(jing)度(du)(du)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)選(xuan)擇(ze) F.S.1 SCCM 或更低規格(ge)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)造。 請聯(lian)系我們了(le)解詳情。 此外，MC-3000L 高(gao)精(jing)度(du)(du)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)(qi)標配小(xiao)(xiao)死體(ti)(ti)積(ji)隔(ge)膜(mo)閥。